据外媒报道，已经用5nm工艺量产两年的TSMC正在推进用3nm工艺量产这一工艺已于去年下半年在风险下投入试产，并将按计划于今年下半年量产

除了3纳米工艺技术，TSMC还计划量产更先进的2纳米工艺，计划于2025年量产。

据国外媒体报道，TSMC最近几天宣布将投资340亿美元推动2纳米制程技术的量产，他们已经获得了建厂用地的租赁许可。

此外，有外媒报道称，TSMC高层正在与有关方面就建设2nm工艺工厂所需的土地进行谈判超过90%的业主都同意，他们最迟有望在6月前获得建设工厂所需的全部土地

除了土地，TSMC的2nm工艺工厂也需要大量资金用于厂房的建设，但预计最昂贵的是更高端的极紫外光刻机和其他先进设备。

TSMC从第二代7nm工艺开始使用极紫外光刻，之后量产的5nm等先进工艺都需要极紫外光刻他们还从ASML购买了大量的极紫外光刻机，更先进的2nm工艺需要高数值孔径的极紫外光刻机

在ASML已经上市的TWINSCAN NXE:3400B，TWINSCAN NXE:3400C和TWINSCAN NXE:3600D极紫外光刻机中，最先进的TWINSCAN NXE:3600D最高只能支持5nm和3nm工艺的量产。

根据ASML第一季度的财报，他们在今年第一季度交付了三台极紫外光刻机，营收5.94亿欧元，单机均价接近2亿欧元未来更先进的支持2nm工艺技术的极紫外光刻机会卖更高的价格